銅加工製品/バッキングプレート・ターゲット材

Processed Copper Product/ Backing Plate and Target Material

独自設計による熱解析シミュレーション技術を応用し、冷却効率が高くより安定したスパッタリングを実現致します。

Using thermal analysis simulation technology of our own unique design, sputtering that offers more efficient cooling with higher stability is realized.

京浜ラムテックは、半導体・FPD用・光学フィルム用の薄膜形成材料であるターゲット材を最適な温度に保ち、電極としての役割を果たすバッキングプレートにおいて世界トップシェアを占めております。

Keihin Ramtech has a leading global share in backing plates, which are used to keep the target material - a thin film formation material used in semi-conductors, FPD and optical film - at the optimum temperature as well as functioning as an electrode.

FPD用バッキングプレート/ FPD Backing Plate

フラットパネルディスプレイの市場拡大と共に需要が拡大しているバッキングプレートです。当社のバッキングプレートは独自の製造技術により、大型かつ優れた平面度・高い冷却効率により安定したスパッタリングを御提供することで、世界中の御客様より高い評価を頂いておリます。

The demand for backing plates has increased along with the expansion of the flat panel display market. Our own backing plates are created using unique manufacturing technology, allowing us to provide large, incredibly flat, extremely cooling efficient and thus very stable sputtering that is held in the highest regard by our customers around the world.

FPO向けバッキングプレート Backing plate for FPD

FPO向けバッキングプレート
Backing plate for FPD

半導体用バッキングプレート/ Semi-Conductor Backing Plate

近年の集積度の急激な進展とデバイスの高速化に対応する為、銅・コルソン合金・クロム銅など多種にわたる製品を供給しております。

In order to support the rapid developments in integration in recent years, along with the increasing speed of devices, we provide a variety of products, including those made from copper, Corson alloy and chromium copper.

電子・半導体向けパッキングプレート Backing plates for electronics and semi-conductors

電子・半導体向けパッキングプレート
Backing plates for electronics and semi-conductors

ロータリー バッキングチューブ/ Rotary Backing Tube

従来のプレーナ一方式と比ベロータリー式スパッタリングカソードは、酸化物などを高速に成膜し、ターゲット利用率が高く、またデュアルカソードとして使うことで、ターゲット交換頻度を大幅に減らすことが可能となります。
弊社は、ロータリー式スパッタリング装置に使われるバッキングチューブも生産し、様々なお客様のニーズにお応え致します。

Rotary sputtering cathode system has high material utilization as one of characteristics, therefore it is able to decreae the many number of maintenance. 
And using as dual cathode system, it can make the high deposition rate of oxide films. Furthermore, we can offer the backing tube of rotary target with matching to wants of each customer.

ロータリーバッキングチューブ Rotary backing tube

ロータリーバッキングチューブ
Rotary backing tube